Please use this identifier to cite or link to this item:
http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89| Title: | Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ |
| Other Titles: | Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання Методические указания к лабораторному практикуму по дисциплине „Технологические основы электроники. Тонкие пленки“ Methodical instructions for laboratory course in the discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films“ |
| Authors: | Жавжаров, Євген Леонідович Жавжаров, Евгений Леонидович Zhavzharov, Evgen L. Коротун, Андрій Віталійович Коротун, Андрей Витальевич Korotun, Andriy V. Смирнова, Ніна Анатоліївна Смирнова, Нина Анатольевна Smirnova, Nina A. |
| Keywords: | тонка плівка плівкові резистори, конденсатори, індуктивності термічне випаровування магнетронне розпилення ВУП-4, ВУП-5 поверхневий опір адгезія структура плівки thin film film resistors, capacitors, inductance thermal evaporation magnetron sputtering VUP-4, VUP-5 surface resistance adhesion the film structure тонкая пленка пленочные резисторы, конденсаторы, индуктивности термическое испарение магнетронное распыление ВУП-4, ВУП-5 поверхностное сопротивление адгезия структура пленки |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Запорізький національний технічний університет |
| Abstract: | UK: Наведені методичні рекомендації та вказівки до виконання лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" EN: Provides guidelines and instructions to perform laboratory works on discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films" RU: Приведены методические рекомендации и указания к выполнению лабораторного практикума по дисциплине "Технологические основы электроники. Тонкие пленки" |
| Description: | Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання / Укл.: Є. Л. Жавжаров, А. В. Коротун, Н. А. Смирнова. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2014. – 54 с. |
| URI: | http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89 |
| Appears in Collections: | Навчально-методичний комплекс дисциплін кафедри ІБ та Н |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| M04975.pdf | Методичні вказівки | 1.12 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.