Please use this identifier to cite or link to this item:
http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/4985| Title: | Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла |
| Other Titles: | Defective Structure Modeling dislocation-free silicon single crystals at the stage of crystal growth Моделювання дефектної структури бездислокаційних монокристалів кремнію на стадії росту кристалу |
| Authors: | Таланін, Віталій Ігорович Таланін, Ігор Євгенович Сирота, Анатолій Васильович Talanin Vitaliy I. Talanin, Igor E. Sirota, Anatolij V. Таланин, Виталий Игоревич Таланин, Игорь Евгеньевич Сирота, Анатолий Васильович |
| Keywords: | growth microdefects heterogeneous diffusion model dislocation-free silicon single crystals crucible zone melting ростові мікродефекти гетерогенна диффузиона модель бездіслокаційні монокристали кремнію бестигельне зонне плавлення ростовые микродефекты гетерогенная диффузионная модель бездислокационные монокристаллы кремния безтигельная зонная плавка |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | Класичний приватний університет |
| Abstract: | UK: Розробка моделі дефектоутворення в бездислокаційних монокристалах кремнію з можливістю моделювання і отримання бездислокаційних монокристалів кремнію з заздалегідь заданою дефектною структурою, а також управління нею під час наступних технологічних впливах. EN: Development of a model of defect formation in dislocation-free silicon single crystals with the possibility of modeling and obtaining dislocation-free silicon single crystals with a predetermined defect structure, as well as its control during subsequent technological influences. RU: Разработка модели дефектообразования в бездислокационных монокристаллах кремния с возможностью моделирования и получения бездислокационных монокристаллов кремния с заранее заданной дефектной структурой, а также управления ею при последующих технологических воздействиях. |
| Description: | Таланин В.И., Таланин И.Е., Сирота А.В. Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла / Матеріали Всеукраїнської науково-практичної конференції «Системний аналіз і управління» КПУ. 23-24 жовтеня 2008. Запоріжжя : Класичний приватний університет. Т.2.- С.159-160. |
| URI: | http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/4985 |
| Appears in Collections: | Наукові статті кафедри КС та М |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Talanin_Defective.pdf | Наукові статті | 132.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.