Please use this identifier to cite or link to this item: http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89
Title: Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“
Other Titles: Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання
Методические указания к лабораторному практикуму по дисциплине „Технологические основы электроники. Тонкие пленки“
Methodical instructions for laboratory course in the discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films“
Authors: Жавжаров, Євген Леонідович
Жавжаров, Евгений Леонидович
Zhavzharov, Evgen L.
Коротун, Андрій Віталійович
Коротун, Андрей Витальевич
Korotun, Andriy V.
Смирнова, Ніна Анатоліївна
Смирнова, Нина Анатольевна
Smirnova, Nina A.
Keywords: тонка плівка
плівкові резистори, конденсатори, індуктивності
термічне випаровування
магнетронне розпилення
ВУП-4, ВУП-5
поверхневий опір
адгезія
структура плівки
thin film
film resistors, capacitors, inductance
thermal evaporation
magnetron sputtering
VUP-4, VUP-5
surface resistance
adhesion
the film structure
тонкая пленка
пленочные резисторы, конденсаторы, индуктивности
термическое испарение
магнетронное распыление
ВУП-4, ВУП-5
поверхностное сопротивление
адгезия
структура пленки
Issue Date: 2014
Publisher: Запорізький національний технічний університет
Abstract: UK: Наведені методичні рекомендації та вказівки до виконання лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" EN: Provides guidelines and instructions to perform laboratory works on discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films" RU: Приведены методические рекомендации и указания к выполнению лабораторного практикума по дисциплине "Технологические основы электроники. Тонкие пленки"
Description: Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання / Укл.: Є. Л. Жавжаров, А. В. Коротун, Н. А. Смирнова. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2014. – 54 с.
URI: http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89
Appears in Collections:Навчально-методичний комплекс дисциплін кафедри М та НЕ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
M04975.pdfМетодичні вказівки1.12 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.