Please use this identifier to cite or link to this item:
http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7874| Title: | Силабус дисципліни "Основи нанолітографії" |
| Other Titles: | The syllabus of the discipline "Fundamentals of nanolithography" Силлабус дисциплины "Основы нанолитографии" |
| Authors: | Коротун, Андрій Віталійович Korotun, Andriy V. Коротун, Андрей Витальевич |
| Keywords: | сенсори sensors сенсоры |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Національний університет «Запорізька політехніка» |
| Description: | Силабус дисципліни "Основи нанолітографії" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: А. В. Кортун. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. –8 с. |
| URI: | http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7874 |
| Appears in Collections: | Навчально-методичний комплекс дисциплін кафедри ІБ та Н |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| S_Korotun.pdf | Силабус навчальної дисципліни | 459.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.