Please use this identifier to cite or link to this item:
http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7680
Title: | Силабус дисципліни "Плазмо-хімічнітехнологіі" |
Other Titles: | The syllabus of the discipline "Plasma-chemical technologies" Силлабус дисциплины "Плазмо-химические технологии" |
Authors: | Матюшин, Володимир Михайлович Matyshin, Volodimir M. Матюшин, Владимир Михайлович |
Keywords: | плазма хімія поверхні технологія plasma surface chemistry technology плазма химия поверхности технология |
Issue Date: | 2021 |
Publisher: | Національний університет «Запорізька політехніка» |
Description: | Силабус дисципліни "Плазмо-хімічні технологіі" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: В. М. Матюшин. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. – 7 с. |
URI: | http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7680 |
Appears in Collections: | Навчально-методичний комплекс дисциплін кафедри ІБ та Н |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
S_Matyshin.pdf | Силабус навчальної дисципліни | 359.23 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.