Методи моделювання елементів мікросистемної техніки

Abstract

UK: В дипломній роботі були розглянуті методи моделювання елементів мікросистемної техніки та питання застосування програмних засобів, які використовуються при проектуванні пристроїв мікросистемної техніки. Виконано приклад магнітного аналізу електромагнітного приводу, як осесиметрична двовимірна (2D) модель в універсальній системі проектування ANSYS 6.1, та структурну поведінку мікрочутливої мембрани з двома змійовиковими пружинами в універсальній системі моделювання EMS. EN: In the master’s work, methods of modeling elements of microsystem technology and issues of using software tools used in the design of microsystem technology where considered. An example of magnetic analysis of an electromagnetic drive is performed, as an axisymmetric two-dimensional (2D) model in the universal design system ANSYS 6.1, and the structural behavior of a microsensitive membrane with two snake springs in the universal simulation system EMS. RU: В дипломной работе были рассмотрены методы моделирования элементов микросистемной техники и вопросы применения программных средств, используемых при проектировании микросистемной техники. Выполнен пример магнитного анализа электромагнитного привода, как осесимметрическая двумерная (2D) модель в универсальной системе проектирования ANSYS 6.1, и структурное поведение микрочувствительной мембраны с двумя змейковыми пружинами в универсальной системе моделирования EMS.