Please use this identifier to cite or link to this item: http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/4984
Title: Моделирование условий роста и технологии получения бездислокационных монокристаллов кремния без вторичных растовых микродефектов
Other Titles: Modeling of growth conditions and technology for producing dislocation-free silicon single crystals without secondary rast microdefects
умов зростання і технології отримання бездислокаційних монокристалів кремнію без вторинних растових мікродефектів
Authors: Таланін, Віталій Ігорович
Таланін, Ігор Євгенович
Сирота, Анатолій Васильович
Talanin, Vitaliy I.
Talanin, Igor E.
Sirota, Anatolij V.
Таланин, Виталий Игоревич
Таланин, Игорь Евгеньевич
Сирота, Анатолий Васильович
Keywords: growth microdefects
heterogeneous diffusion model
dislocation-free silicon single crystals
crucible zone melting
ростові мікродефекти
гетерогенна диффузиона модель
бездіслокаційні монокристали кремнію
бестигельне зонне плавлення
ростовые микродефекты
гетерогенная диффузионная модель
бездислокационные монокристаллы кремния
безтигельная зонная плавка
Issue Date: 2008
Publisher: м. Кременчук, Кременчуцький університет економіки, інформаційних технологій і управління.
Abstract: UK: Розробка моделі дефектоутворення в бездислокаційних монокристалах кремнію з можливістю моделювання і отримання бездислокаційних монокристалів кремнію з заздалегідь заданою дефектною структурою, а також управління нею під час наступних технологічних впливах. EN: Development of a model of defect formation in dislocation-free silicon single crystals with the possibility of producing dislocation-free silicon single crystals with a predetermined defect structure and its control during the following technological actions RU: Разработка модели дефектообразования в бездислокационных монокристаллах кремния с возможностью получения бездислокационных монокристаллов кремния с заранее заданной дефектной структурой и управления ей во время следующих технологических воздействий.
Description: Таланин В. И., Таланин И. Е., Сирота А. В. Моделювання умов зростання і технології отримання бездислокаційних монокристалів кремнію без вторинних растових мікродефектів / Матеріали ІІІ Міжнародної науково-практичної конференції «Матеріали електронної техніки та сучасні інформаційні технології» (МЕТТІТ-3), 21 травня 2008 р.
URI: http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/4984
Appears in Collections:Наукові статті кафедри КС та М

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Talanin_Modeling.pdfНаукова стаття139.24 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.